Ganymede Dry Pump - 서브팹의 게임 체인저

작성자 관리자

작성일 25-08-04 14:27

조회수 309

지난 2월, [SEMICON Korea 2025]에서 최초로 공개되었던 에드워드의 차세대 드라이 펌프인 Ganymede(가니메데)는

기존 iXH 시리즈 대비 30% 작아진 크기와 전력 소비를 50%까지 감소시킨 저전력 고효율 펌프입니다.

​

오늘은 Ganymede 펌프가 에드워드의 기존 iXH 펌프 시리즈와 대비하여 어떠한 차별점을 가지는지 소개해 드리겠습니다.

 

​* 해당 글은 에드워드 코리아가 속해있는 Atlas Copco Group 의 Connected 매거진 내 기사를 번역한 것이며 오역이 있을 수 있습니다.

 


◦◦◦◦◦◦◦

 

 

지난해는 Genesis 프로젝트의 첫 번째 펌프인 Ganymede가 여러 이정표를 세운 한 해였습니다. 티저 캠페인을 시작으로, 유럽·중국·미국 고객사에서의 첫 시험 운전이 진행되었고, 에드워드 EMEA 영업팀이 Ganymede 펌프를 판매하는 성과를 이루어냈습니다.

​

에드워드 Dry Pump Marketing의 Vice President인 Neil Garland는 차세대 드라이 첨프에 대한 소식을 전하며 다음과 같이 말했습니다. "에드워드가 반도체 분야에서 성공을 거둘 수 있었던 것은 그동안 쌓아온 탄탄한 기술 리더십 덕분입니다. 반도체용 드라이 펌프를 처음 개발한 기업으로서, 계속해서 기술적 한계를 뛰어넘고 혁신을 주도해 나가야 할 책임이 있습니다. 이를 통해 고객들이 제조 공정에서 보다 탁월한 성과를 얻을 수 있도록 지원하는 것이 우리의 역할입니다."

​

Genesis 플랫폼 프로그램의 첫 번째 제품으로 출시된 Ganymede Harsh Duty 펌프 시리즈는 전력 소비, 유틸리티 사용량, 설치 공간, 데이터 처리 역량 등 고객에게 중요한 부분에서 기대를 뛰어넘는 성능을 제공합니다.

​

또한 에드워드가 지금까지 개발한 드라이 펌프 중 가장 지속가능한 제품으로, 전체 수명 주기 동안 발생하는 이산화탄소(CO2) 배출량이 기존 iXH 펌프 대비 49% 낮아졌습니다.

​

Ganymede는 반도체, 태양광, 디스플레이, LED, 전력 반도체 시장을 위한 에드워드 드라이 펌프 포트폴리오 전환의 출발점입니다. 이 제품의 성공은 지속적인 사업 성장과 직결되며, 모든 구성원이 이를 위한 중요한 역할을 맡고 있습니다.

 

 

20250804142213_3915823b2c5ab4013c7dd2ee393fa301_8mbb.png

 

■ Ganymede가 기존 iXH 펌프와 차별화되는 점은 무엇인가요?

​

가장 큰 차별점은 총 소유 비용의 획기적인 절감입니다. 이는 펌프의 주요 유틸리티와 관련된 운영 비용이 크게 줄어든 데에 기인하며, 주요 개선 사항은 다음과 같습니다:

​

• 전력 소비 50% 감소

• 공정 냉각수(PCW) 및 물 사용량 40% 절감

• 질소(N2) 사용량 최대 25% 절감

 

이산화탄소 환산량(CO2e) 49% 감축

펌프는 반도체 제조 시설의 유틸리티 사용량에서 큰 비중을 차지합니다. 이 사용량을 줄임으로써 탄소 발자국을 감소시키고, 고객들의 환경적 목표를 달성하는 데 도움을 줍니다.

​

향상된 지능 및 데이터 기능

Ganymede는 에드워드의 예측적 유지보수 기술과 연동되어 펌프 수명에 대한 중요한 정보를 제공함으로써 웨이퍼 손실을 최소화하고, 서비스 간 평균 시간(MTBS)을 연장하며, 생산량을 극대화합니다.

 

수율 및 처리량 향상

향상된 분진 처리 능력을 통해 까다로운 공정에서도 강한 내구성으로 펌프 수명이 늘어나 처리량이 극대화됩니다. 또한 펌프의 설치 공간이 30% 줄어들어 장비 내부에 펌프를 배치할 수 있어 제조 시설의 생산 용량을 최대한 활용할 수 있습니다. 이는 신규 설비 배치 시 보다 효율적인 공장 레이아웃 계획도 가능하게 합니다.

 

올해도 Ganymede와 관련된 여러 중요한 이벤트들이 이어질 예정이니, 앞으로도 많은 관심 부탁드립니다.

 

 

 

 

◦◦◦◦◦◦◦

 

enlightenedEdwards Korea와 진공 기술에 관련된 더 자세한 정보는 아래 Edwards Korea 네이버 블로그를 방문해 주시기 바랍니다.

http://blog.naver.com/edwards_korea

 

 

​